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PIXIS XB – 制冷CCD

PIXIS-XB是一款热电冷却、能直接探测3 - 20 keV能量范围X射线的CCD相机，可提供前照/背照式深耗尽阵列和薄铍窗口，提供密封真空深度制冷。对低能X射线具有滤除功能，可以保护CCD芯片并减少背景噪声。适用于软X射线成像、EUV光刻、X射线等离子体成像、X射线光谱成像等应用场景。